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磁控濺射制備二氧化釩薄膜的參考文獻匯總

2020-06-01 13:41來源:蒂姆(北京)新材料科技有限公司作者:蒂姆(北京)新材料科技有限公司網址:http://www.146019.tw瀏覽數:2
磁控濺射制備二氧化釩薄膜的參考文獻匯總
磁控濺射制備VO2薄膜可以采用兩種方式:采用濺射二氧化釩VO2靶材,采用濺射金屬釩V靶材兩種方式。

兩種方式濺射的工藝參數也有所不同,具體可以參考如下摘抄的文獻:

一、采用濺射
VO2靶材,直接制備VO2薄膜文獻匯總

1.1 磁控濺射法制備二氧化釩薄膜及其性能表征
文獻鏈接:https://wenku.baidu.com/view/93dc600f3c1ec5da51e2702a.html ;
圖片

1.2
磁控濺射氧化釩薄膜的相組成及性能
文獻鏈接:https://wenku.baidu.com/view/e23e05ebf8c75fbfc77db22d.html
圖片

1.3 磁控濺射制備A相二氧化釩薄膜的方法與流程
文獻鏈接:http://www.xjishu.com/zhuanli/24/201610744315.html
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1.4 氧化釩薄膜的制備及其熱致變色特性研究
文獻鏈接:https://xueshu.baidu.com/usercenter/paper/show?paperid=aaab421212af99f36edcc21d81ab6a5d&site=xueshu_se
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二、采用濺射金屬V靶材,直接制備VO2薄膜文獻匯總

2.1射頻磁控濺射制備氧化釩薄膜的研究
文獻鏈接:https://wenku.baidu.com/view/ffe668cb04a1b0717fd5dd3a.html
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2.2一種磁控濺射制備氧化釩膜的方法
文獻鏈接:http://cprs.patentstar.com.cn/Search/Detail?ANE=9EGD6DDA9HGF9EEC9GHF9FIE9DEC9HAG9EGH9FHE9CAA9EHE
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主營產品:釩靶材、二氧化釩靶材、五氧化二釩粉末、釩顆粒、釩棒、錳靶材、鎳靶材、鈷靶材

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